Wir führen Spezialgläser für Sie: FOTURAN, BOROFLOAT, B270, ...
Glas bietet vielfältige Möglichkeiten und spielt aufgrund seiner hervorragenden Eigenschaften eine große Rolle in der Mikrosystemtechnik. mikroglas bietet Ihnen nicht nur Komponenten und komplette Systemlösungen an, sondern auch verschiedene Spezialgläser in Standard- und Individualabmessungen.
Gläser
- FOTURAN: fotostrukturierbares Glas
- BOROFLOAT, PYREX: mit Silizium bondbare Gläser
- B270: farbloses, hochtransparentes Kronglas
- AF45, D263: Borosilikatgläser, Dünngläser
Auf Anfrage liefern wir Ihnen gerne auch andere Gläser.
Wafer (generell mit oder ohne Flat lieferbar):
- Standarddurchmesser: 3" / 75 mm; 4" / 100 mm; 5" / 125 mm; 6" / 150 mm
- Sonderformate: poliert nur bis 300 mm Durchmesser
- Spezifikationen: nach SEMI-Standard
- Toleranz/Durchmesser: +/- 0,3 mm
Rechtecksubstrate:
- Standardabmessungen: 50 x 50 mm², 100 x 100 mm², 125 x 125 mm², 150 x 150 mm²
- Toleranz/Kantenlänge: +/- 0,3 mm
mikroglas fertigt Wafer und Rechtecksubstrate in Stärken von 0,15 mm bis 2,5 mm. Je nach Glasart und in Abhängigkeit von der Substratgröße sind sowohl dünnere als auch stärkere Substrate herstellbar.
Toleranzen:
- Wafer: 3" - 5": +/- 0,015 mm, 6": +/- 0,02 mm
- Rechtecksubstrate: +/- 0,015 mm
- Oberflächenbeschaffenheiten: polierte Oberfläche rA ~ 0,02 µm, geschliffene Oberfläche rA ~ 0,60 µm
Sauberkeit:
- Reinigung im Ultraschallbecken mit Isopropanol oder Aceton
- Verpackung im staubreduzierten Raum
- bei Bedarf werden die Produkte in Kunststofffolie eingeschweißt
Qualitäten:
- Qualität A: keine Defekte > 50 µm / blasenfrei
- Qualität B: max. 2 Blasen, Blasengröße: 50 µm – 1 mm / 100 cm² und max. 1 Kantenfehler, Fehlergröße: 1 mm / 40 cm und max. 2 Kratzer, Kratzergröße: 50 µm – 20 mm
- Qualität C: Fehlergröße und/oder -menge >Qualität B
Nutzen Sie unsere Kompetenz um Ihre Ziele zu erreichen! Die mikroglas chemtech GmbH besitzt umfassendes Know-how bei der Mikrostrukturierung von Glas, Glaskeramik und Silizium. Aufgrund langjähriger Entwicklung und Produktion von mikrotechnologischen Produkten konnte das Unternehmen den für die Herstellung seiner Produkte verwendeten Strukturierungsprozess stark optimieren. Daher empfehlen wir Ihnen grundsätzlich, diese Prozesse in unserem Hause durchführen zu lassen. Nutzen Sie unser Kompetenz, um Ihre Ziele zu erreichen ! Sollten Sie sich dennoch dazu entschließen, die Strukturierung selbst vorzunehmen, weisen wir Sie darauf hin, dass die mikroglas chemtech GmbH keinerlei Haftung für mögliche Schäden übernimmt, die in einem direktem bzw. indirektem Zusammenhang mit den von uns verkauften Gläsern entstehen könnte.