Materialien, Produkte, Verfahren

Mikrostrukturierbares Glas lässt sich vielseitig verwenden, wie folgende Beispiele aus unserem Produktionsprogramm zeigen:

• Filter für die Medizintechnik
• Gitter und Lochraster
• Elektrodenplatten für Kopfhörer
• optische Bauelemente
• chemische Reaktoren
• Halterungen für elektronische Bauteile
• Analysesysteme
• Beschichtungsmasken für Bedampfungsprozesse
• Komponenten für Displays
• Gassensoren
• Beschleunigungssensoren
• Schmuck

Für verschiedene Anwendungen können Gläser mit unterschiedlichen Eigenschaften und Formaten angeboten werden, unter anderem:

• fotostrukturierbare Gläser, z.B. FOTURAN
• mit Silizium bondbare Gläser, z.B. BOROFLOAT
• Dünngläser, z.B. AF45 oder D263
• Quarz

Für unsere Strukturierungsaufgaben stehen uns modernste Anlagen der Mikrotechnik zur Verfügung. Die Herstellung der Ausgangssubstrate erfolgt mit Sägen, Schleif-, Polier- und Randbearbeitungsmaschinen. Das Einbringen von Mikrostrukturen in die so erzeugten Substrate wird mit Hilfe fotolithographischer Methoden (Belacken, Belichten , Entwickeln) und anschließendem chemischen Ätzen durchgeführt. Veredelt werden können die geätzten Bauteile durch verschiedene Beschichtungsprozesse (Sputtern, Bedampfen, Siebdruck, Galvanik). Verschiedene Verbindungstechniken (thermisches Bonden, Glaslot, Kleben, Löten) komplettieren unsere Möglichkeiten.